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keysight 10774A 短距離直線度光器件 深圳市美佳特

更新時(shí)間:2021-07-01      點(diǎn)擊次數(shù):1362

keysight 10774A 短距離直線度光器件

銷售,租賃,維修,回購(gòu)利用,技術(shù)方案支持等服務(wù)=深圳市美佳特科技有限公司

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描述

"Keysight 10774A 短距離直線度光器件結(jié)合了直線度干涉儀和反射鏡,可在高達(dá) 3 米(10 英尺)的行程距離內(nèi)進(jìn)行測(cè)量。 該光器件構(gòu)成了一個(gè)高度的光學(xué)直角尺,可以測(cè)量機(jī)床行程和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)運(yùn)動(dòng)的直線度,分辨率為 0.04 微米(1 uin)。

 

Keysight 10774A(與 Keysight 5530 校準(zhǔn)系統(tǒng)配合使用)是一個(gè)大型元器件,可對(duì)干涉儀系統(tǒng)進(jìn)行量身定制以滿足每個(gè)應(yīng)用的物理版圖和測(cè)量要求。

 

直線度測(cè)量精度

總體精度 = 光參考精度 + 測(cè)量精度。

與使用直角尺和指示器進(jìn)行直線度測(cè)量的傳統(tǒng)方法類似,光參考精度相當(dāng)于直角尺精度,而測(cè)量精度相當(dāng)于指示器精度。

光參考精度

直角尺(反射鏡)反轉(zhuǎn)技術(shù)可消除光參考不確定度。

公制單位模式: 0.15 M2 µm

英制單位模式: 0.5 F2 µin

測(cè)量精度

溫度范圍顯示值: 0 µm 至 10 µm,10 至 1,500 µm

0 µm 至 400 µm,400 至 60,000 µm

15°C 至 25°C,±3.5%±1%±0.25 µm(10 µin)

0°C 至 40°C,±6%±1%±0.5 µm(20 µin)

直線度測(cè)量分辨率

Keysight 5519A、Keysight 5519B

短距離: 0.01 µm(0.4 µin)、0.04 µm(1.4 µin)

直線度測(cè)量范圍(正交至軸向移動(dòng))

±1.5 mm(0.060 英寸)

軸向分離(移動(dòng))

(干涉儀和反射鏡之間的距離,典型值,經(jīng)過(guò)恰當(dāng)?shù)膶?duì)準(zhǔn),15°C 至 25°C):

短距離光器件: 0.1 m 至 3 m(4 英寸至 120 英寸)

高分辨率平面反射鏡

與對(duì)準(zhǔn)激光器相比,對(duì)空氣擾動(dòng)的反應(yīng)更加、靈敏度更低

單獨(dú)提供或作為 Keysight 55283A 直線度測(cè)量套件的一部分

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